オリエンタル技研 総合カタログ CO39
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546空調機 HEPAフィルター 外気 :ダーティーエアー :クリーンエアー 空調機 HEPAフィルター 外気 空調機 HEPAフィルター 外気 空調機クリーンベンチHEPAフィルター外気クリーンルームの気流方式には、下記の4種類があります作業目的、清浄度、コスト、将来計画等を考慮して検討することが大切です気流方式■ クリーンルームClean Roon垂直層流方式 Downow Clean Room▶清浄度:ISO5〜6(クラス100〜1,000)▶特 長:天井全面にセットされたHEPAフィルターから、清浄空気が床全面の吸込口へ垂直下方に流れて、除塵再循環します。清浄効果は抜群ですが設置スペースを要し、建設費・ランニングコストともに高価になります。▶換気回数:(回/hr)   クラス100:200〜500 クラス1,000:40〜50水平層流方式 Crossow Clean Room▶清浄度:ISO5〜7(クラス100〜10,000)▶特 長:一方の壁全面にセットされたHEPAフィルターから清浄空気が、水平一定方向へ送られます。室内で発生した汚染粒子は水平一定方向へ流れて上流に飛散しません。▶換気回数:(回/hr)    クラス100:200〜500 クラス10,000:20〜40乱流方式 Conventional Clean Room▶清浄度:ISO7〜8(クラス10,000〜100,000)▶特 長:天井面にセットされたクリーンユニットから清浄空気を下方に吹き出し、壁面の床に近い部分に設けられた吸込口から排気して除塵再循環する方式です。建設費・ランニングコスト、ともに比較的安価です。▶換気回数:(回/hr)  クラス10,000:20〜40 クラス100,000:10〜20トンネル方式 Clean Tunnel▶清浄度:ISO3〜5(クラス1〜100)▶特 長:天井面にセットされたクリーンユニットから清浄空気を下方へ吹き出し、床面に設置されたHEPAフィルター、または排気型のクリーンベンチを通して再除塵する方式です。高い清浄空間を作ることができます。▶換気回数:(回/hr) クラス100:200〜500パスボックスパスルームエアシャワークリーンルームクリーンロッカークリーンブースクリーンベンチクリーンドラフトエッチングチャンバークリーン関連施設

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