オリエンタル技研 総合カタログ CO39
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544清浄度と規格■ クリーンルームClean Roomクリーンルームの規格クリーンルームの清浄度は、一定体積中における塵埃の大きさとその数で示されます。規格の原本は、1963年の米国連邦規格209【Fed. Std. 209】でしたが、1992年にメートル法の採用により【Fed. Std. 209E】に改定されました。さらに1999年には、国際規格【ISO14644-1】が制定され、これに伴って【Fed. Std. 209E】規格が2001年11月に廃止されました。日本では、1989年、【JIS B9920クリーンルームの空気清浄度の評価方法】が施行され、2002年に改定されました。クリーンルームの粒子濃度測定方法、清浄度の評価方法が明確となり、「工業用クリーンルーム」の基準が確立しています。現在清浄度のクラス表示としてISO/JISが使用されています。また、バイオクリーンルーム(BCR)では、微生物の制御を目的として、空気の清浄度の他に落下菌に対する規定が決められています。この規格としては、NASA(米国航空宇宙局)の規格があります。ISO 14644-1 清浄度クラスの上限濃度(個/m3)(2015年)クラス表示クラス上限値0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm110—————21002410———31,00023710235——410,0002,3701,02035283—5100,00023,70010,2003,520832—61,000,000237,000102,00035,2008,3202937———352,00083,2002,9308———3,520,000832,00029,3009———35,200,0008,320,000293,000各規格の対応表ISO14644-1(1997年度)JIS B 9920(1989年度)Fed-Std-209E個数SI単位系英国単位系0.1μm/m30.5μm/m3ISO Class 1クラス1——10ISO Class 2クラス21004M135010ISO Class 3クラス3M1.5クラス11,00035M23,500100ISO Class 4クラス4M2.5クラス1010,000352M335,0001,000ISO Class 5クラス5M3.5クラス100100,0003,520M410,000ISO Class 6クラス6M4.5クラス10001,000,00035,200M5100,000ISO Class 7クラス7M5.5クラス10000352,000M61,000,000ISO Class 8クラス8M6.5クラス1000003,520,000M710,000,000ISO Class 9———35,200,000JIS B9920 清浄度クラスの上限濃度(個/m3)(2002年)清浄度クラス(N)上限濃度(個/m3)測定粒径0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm110221002410431,000237102358410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,5208322961,000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000備考 有効数字3けた以内の濃度データを使用して、分類レベルを決定する。Fed.Std.209Eの清浄度のクラスの上限濃度(米国連邦規格1992年9月)クラス表示クラス上限値メートル法英国単位0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μm単位体積単位体積単位体積単位体積単位体積(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M1   350  9.91    75.7    2.14    30.9  0.87510.0      0.283M1.51 1,240 35.00   265    7.5   106  3.0035.3      1.00M2 3,500 99.1   757   21.4   309  8.75100       2.83M2.51012,400350 2,650   75.0 1,060 30.0353      10.0M335,000991 7,570  214 3,090 87.51,000      28.3M3.510026,500  75010,600300 3,530     100M475,7002,14030,900875 10,000     283M4.51,00035,300   1,000247    7.00M5100,000   2,830618   17.5M5.510,000353,000  10,0002,470   70.0M61,000,000  28,3006,180  175  M6.5100,0003,530,000 100,00024,700  700M710,000,000 283,00061,8001,750※1:上限濃度は、対象粒径以上の粒子濃度を表している。※2:上限濃度は、粒径0.1および0.5μmの値を基準としている。※3:表に示されていない清浄度クラス粒径範囲内の上限濃度は、次の式で求める。Nc=10N×(0.1D)2.08 【Nc:粒径以上の上限濃度(個/m3)、N:清浄度クラス、D:粒径(μm)】パスボックスパスルームエアシャワークリーンルームクリーンロッカークリーンブースクリーンベンチクリーンドラフトエッチングチャンバークリーン関連施設

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